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关于多线切割的原理

2021-09-15 10:30:50

A线切割的原理

a:砂的作用是切割b:液的作用是悬浮c:钢线的作用是承载故切割原理是融合在切割液中的碳化硅在高速运行的钢线带动下完成切割的作用。

B料浆的作用及其质量控制的重要性:

a:料浆的作用是切割,它是切割的主体,并且在切割的过程中还起到了一定的冷却、散热、润滑的作用。b:新料浆只能由砂和液组成,不能有其他任何杂物。在使用后的料浆里还有玻璃碎粉、钢屑、硅粉、胶条等。更换砂浆主要是控制这些在料浆里比例小于7-8%,只有这样才能保证料浆的切割能力,如果砂浆的配置不正确,或者含有大量的杂质,将会导致跳线、断线等,由此产出的硅片会出现线痕、色差、厚薄不均甚至报废。

C:机器的运行方式和切割过程中料浆的运行

NTC多线切割机采取的是下压式进给。出于晶棒的外形关系,料浆的流量要随着晶棒的形状的改变而改变,这样才能保证硅片的表面质量。在机器上是采用图表的方式对砂浆流量进行设定和表示的。

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D:切割前的检查项目及机器内的卫生:a:钢线的绕线状况(压线、表面不平整等及张力是否正常)。b:接触轮和各个导轮的磨损状况及稳定性。c: 主辊上是否有跳线,杂物;钢线的通路是否正确。d:主辊上是否有碎片,胶条等杂物都必须处理干净。e:各个导轮及接触轮是否转动正常,摆轮臂上是否有沉积砂浆,摆动是否自如。f:参数,由于换线筒等操作需要更改的参数必须在切割前作更改。g:喷嘴必须清理,必须观察出料浆流出是否均匀,是否有段帘。h:料浆必须在启动前过滤干净,料浆中不能有杂物。I:晶棒是否与线网对其,避免因晶棒斜面引起爬坡现象。j:检查晶棒是否锁紧。

跳线产生的原因及处理方式

1:主辊上的导线槽损坏(处理方法:在线网上下贴好胶带包好走线处理)。

2:主辊上有杂物(处理方法:将主辊擦拭干净,如不能擦拭干净需要用压缩空气将主辊上底上的杂质吹掉,必要时需要将张力动切后将线网剪除后进行清理)。

3:钢线在通过导轮是未在槽内,导致钢线磨损,从而导致高线在主辊上扭曲。(处理方法同1

4:切割过程中产生的碎片导致(处理方法同2)跳线的的主要形式有:

1) 一个主辊有一个主辊有。

2) 两个主辊上都有,就是并槽、跳槽。

3) 交叉线,两根钢线换槽导致刚线交叉。


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